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层流罩

洁净层流罩是将空气以一定地风速通过高效过滤器后，形成均流层，使洁净空气呈垂直单向流，从而保证了工作区内达到工艺要求的高洁净度。它主要由箱体、风机、高效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成。层流罩从洁净室吸取的空气，然后采用顶部增压舱里安装的风扇通过HEPA过滤垂直穿过操作区域，为关键区域提供ISO 5（级别100）的单向流空气

层流罩参数.png

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